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事業内容BUSINESS
技術情報 Technology
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CSRの取り組みCSR
東熱の想いTHIS IS TONETS
企業情報PROFILE
電子産業分野における生産性の向上
エレクトロニクスの最先端では、高密度・微細化・高機能化の要請が高まり続けています。特にPCB・FPD・PV、リチウムイオン電池、機能性フィルム等、関連する電子分野は大量消費時代を迎え、生産面での歩留まり向上の対応が課題になっています。 私たちは、こうした生産の最前線での課題に対し、これまで培ってきた空調技術の応用と経験をもとに、生産プロセスに応じたクリーニングシステムを御提案致します。
流体解析により開発された多段縮流ノズルから吹出される高速なクリーンエアーを用いて、プリント基板やガラス基板、フィルム表面に付着したダストを非接触で効率よく除去・吸引する装置です。 ウェット洗浄方式に比べ薬液管理や乾燥プロセスが不要となり装置金額及び設置スペースの軽減が同時に図れるシステムです。様々なプロセス・ワークに応じた製品をラインナップしており、実績納入台数が2000台を超える主力装置です。
極薄基板用に新たに開発された非対向Vラインノズルによる非接触ドライクリーナーです。上下非対向に配置されたV字型スリットが、上下ノズルから噴射されるエアーの相互干渉を緩和し、安定した基板搬送・クリーニングを実現します。従来問題となっていた薄板基板のバタつきや巻き込みを一挙に解決するだけでなく、上下から非対向に2回ブローされる為、今まで除塵が難しいとされていた穴や端面部分のバリの除去に有効です。
高機能化の要請が高まる中で、今まで問題視されていなかった固着した微小粒径異物を除去したいという最先端のニーズに対して、新たに開発された装置です。 純水とエアーをクロス噴射させた2流体ジェットノズルが、ワークに固着した微小粒子を、高効率で除去します。また、ノズル内の吸引機構と液切り機構により、ワークをしっかりと乾燥して排出します。