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最先端プロセスに有効な加熱・冷却・乾燥技術

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電子産業分野における生産性の向上

エレクトロニクスの最先端では、高密度・微細化・高機能化の要請が高まり続けています。特に PCB・FPD・PV、リチウムイオン電池、機能性フィルム等、関連する電子分野では、生産面でワークの 精密な温度管理が求められています。私たちは、こうした生産の最前線での課題に対し、これまで 培ってきた空調技術の応用と経験をもとに、生産プロセスに応じた加熱・冷却・乾燥システムを御 提案致します。

クリーン熱風による基板加熱装置

 

PCB・FPDなどの製造プロセスにおいて、特殊なノズルからの高速クリーン熱風により加熱・乾燥を行う装置です。ワークの温度、昇温特性を容易に制御管理することができ、オーバーシュートが無く、温度ムラのない精密な加熱・乾燥を実現させます。ワークの乾燥だけでなく、ドライフィルムのラミネート密着性向上の為のプレヒートとして、露光後の POST EXPOSURE BAKE(焼締め)として、高スループットで生産性の向上に寄与しています。

基板加熱用プレヒーター 基板加熱用プレヒーター内部炉内

フィルム・シート用クリーン熱風乾燥炉

アラミド製メッシュベルトによるサクション搬送により、高速クリーン熱風を供給しても、シートが浮き上がることなく乾燥させる装置です。
Roll to Roll 搬送におけるフィルムの乾燥装置もラインナップしています。また、IRと熱風を併用さ せることで、IRによる昇温特性と熱風による温度キープ特性の両者を生かし、炉長低減化に寄与さ せることも可能です。

 枚葉シート乾燥炉    セラミックパネルヒーターIR+熱風

ヒートポンプ方式 省エネ加熱装置

近年求められる省エネ技術に対して新しく開発したヒートポンプ方式の加熱装置です。
小・中規模の加熱・乾燥装置の空気加熱補助熱源として、電気ヒーターによる乾燥と比較して約1/3程度の消費電力となり、電気料金の削減、CO2排出量の低減に貢献します。冷温同時取り出し可能であり、冷側を、年間冷房を行っている工場の熱源負荷低減、冷却工程のあるプロセスへの冷却能力補助などに有効利用する事で更なる省エネが実現できます。

 ヒートポンプ方式 省エネ加熱装置

クリーン冷風による基板冷却装置

PCB・FPDなどの製造プロセスにおけるクリーン冷却を行う装置です。特殊なノズルから吹き出されるクリーン冷風は熱交換効率を向上させ、安定した冷却の高速化を実現します。クリーン熱風による基板加熱装置と併せて、加熱後の基板を温度ムラなく、精密に冷却し常温に戻します。

 基板冷却用 CCL CLEAN COOLING 基板冷却用 CCL 内部炉内 

最新の流体解析ソフトによるシミュレーションを利用し、最適なシステムをご提案致します。

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