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H1

「T-COSMOSU」工業用クリーンルーム向け空調システム

T-COSMOSU

(Tonets CleanrOom SysteM Of Stratified Upflow)

  • 7,エネルギーをみんなにそしてクリーンに
  • 9,産業と技術革新の基盤をつくろう
  • 13,気候変動に具体的な対策を

T-COSMOSU(ティーコスモス)とは?

空気の密度差(温度が⾼い空気は軽い/温度が低い空気は重い)を利用し、装置から発生する熱上昇気流を活かして効率的に空調を行う「アップフロー方式」を採用した工業用クリーンルーム向けの空調システムです。従来の天井から清浄空気を吹き出すダウンフロー方式と比較し、より高い清浄度とコストの低減を可能にしました。少ない換気量で清浄度を維持し、装置の発熱量が大きいクリーンルームの省エネルギー化を実現します。(特開2023-012439)

T-COSMOSUの概念図T-COSMOSUの換気量削減効果

T-COSMOSUの強み

  • POINT
    01

    換気量を低減し省エネルギー(搬送動力削減)

  • POINT
    02

    イニシャルコスト(設備容量)とランニングコスト(搬送動力)を削減

  • POINT
    03

    作業空間の清浄度UP/温湿度ムラを改善し良好な空気環境を提供

従来方式との比較

従来のクリーンルームでは、ダストの重力沈降と気流の向きが同じになるよう、天井から清浄空気を吹出し床で吸込む「ダウンフロー方式」の採用が主流となっています。ダウンフロー方式は、装置や人体からの発熱量が大きいと、発熱による上昇気流と空調気流が相対し清浄度が悪化します。清浄度を保つためには換気量を増加させる必要があり、大量の電力を消費します。
T-COSMOSUでは「アップフロー方式」を採用しており、発熱による上昇気流と空調気流が同一方向となるよう、床から清浄空気を吹出し天井で吸込みます。発熱による上昇気流を利用してダストを効率的に最短経路で排出するため、少ない換気量で清浄度を保て、消費電力を抑えることができます。

従来方式(ダウンフロー方式)との比較

T-COSMOSU 従来方式
清浄度レベル
少ない換気量で清浄度を確保

換気量を増大させ清浄度を確保
レイアウトの柔軟性

FFUが床置きなため
移設が必要な場合あり

FFUを天井に均等配置できるため容易
イニシャルコスト
換気量の削減⇒FFU容積小

換気量が増大⇒FFU容積大
ランニングコスト
換気量の削減⇒FFU動力小

換気量が増大⇒FFU動力大

2種類のT-COSMOSU

FFU型とFU型

FFU型 T-COSMOSU

床面のFFU(ファンフィルタユニット)より清浄空気を吹出し、天井の吸込み口より還気します。

  • 大規模クリーンルームに対応可能
  • より少ない換気量で清浄度を確保
  • 装置のレイアウト変更の際にはFFUの位置変更が必要な場合あり

FU型 T-COSMOSU

FU(フィルターユニット)で空気を清浄化した後、床面のパンチングパネルより送り、天井の吸込み口より還気します。

  • 小中規模クリーンルーム向け(10,000㎡以上は床下高さ1m超で対応)
  • パンチングパネルなためレイアウト変更が容易
  • 床面にFFUがないため従来と同様の運用
  • ファンが遠くにあるため、低騒音・低振動

モックアップでの実験結果

室内平均粉じん量

同じ換気回数の時、T-COSMOSUでは従来方式(ダウンフロー方式)に比べ粉じん量を65%削減できました。T-COSMOSUで従来方式と同じ粉じん量とする場合、換気量を約65%削減可能です。

室内平均粉じん量

※換気回数とは、一定時間内に室内の空気がどれだけ入れ替わるかを示す指標。
※粉じんとは、空気中に浮遊する微細な個体粒子。

粗大粒子について

T-COSMOSUでは粗大粒子(5μm~10μm)を巻き上げてしまう懸念を検証しました。粗大粒子についても従来方式(ダウンフロー方式)に比べ多くありませんでした。

粗大粒子について

 

効果の大きい建物例

  • ISOクラス4~9の工業用クリーンルーム(旧Fed st209E クラス10~100,000)
  • 室内熱負荷(機器発熱等)300W/㎡以上の高発熱クリーンルーム
  • T-COSMOSUの適用範囲

関連技術

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