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H1

「T-CAOS」床下空間不要の高熱負荷クリーンルーム向け空調システム

T-CAOS

(Tonets Ceilling Air Outlet-inlet System)

  • 7,エネルギーをみんなにそしてクリーンに
  • 9,産業と技術革新の基盤をつくろう
  • 13,気候変動に具体的な対策を

T-CAOS(ティーカオス)とは?

T-CAOSは、天井吹出・天井吸込方式により装置から発生する熱・ダストを効率的に排出するクリーンルーム向け空調システムです。従来方式(天井吹出・床吸込のダウンフロー方式)と比べると、少ない換気量で同等の清浄度を保つことができ、ランニングコストを削減します。また、床下空間が不要なためイニシャルコストも抑えられます

T-CAOSの概念図T-CAOSの換気量削減効果

T-CAOSの強み

  • POINT
    01

    換気量を低減し省エネルギー(搬送動力削減)

  • POINT
    02

    床下空間不要&設備容量縮小イニシャルコスト削減

  • POINT
    03

    作業空間の清浄度が向上

従来方式との比較

装置から発生する熱・ダストは空気の密度差(温度が高い空気は軽い/温度が低い空気は重い)により上昇します。従来方式(ダウンフロー方式)では、天井吹出・床吸込なため上昇した熱・ダストは給気される清浄空気と混合し拡散されます。そのため、高熱負荷のクリーンルームでは換気量を増加させ清浄度を保つ必要があり、搬送動力が大きくなります。一方、T-CAOSでは、天井吹出・天井吸込なため上昇した熱・ダストを最短経路で室外へ排出します。そのため、高熱負荷のクリーンルームでも効率的に空調が行え、換気量を抑えつつ清浄度を保つことができます。換気量の低減によるランニングコスト削減(搬送動力削減)のほか、床下空間が不要かつ設備容量を縮小できるためイニシャルコストの削減にも貢献します。

T-CAOSと従来方式の比較

T-CAOS 従来方式
リニューアル
既存空調機を利用、階高が低くても対応

床下空間を設けるため必要な階高が高い
レイアウトの柔軟性

レイアウトに合わせて配置変更

FFUを天井に均等配置できるため容易
イニシャルコスト
床下空間不要、設備容量縮小

床下空間が必要
ランニングコスト
換気量の削減⇒搬送動力小

換気量が増大⇒搬送動力大

導入事例

半導体製造用クリーンルームへの導入事例では、従来方式(ダウンフロー方式)に比べ換気回数(換気量)約40%減でも平均粉じん量が少なく運用できています。

  • 半導体製造用クリーンルーム
  • クリーンルーム床面積3,000㎡程度
  • 清浄度クラス100程度(ISOクラス5)
クリーンルームA クリーンルームB
方式 ダウンフロー方式 T-CAOS
換気回数 80回/h 50回/h
0.1μm以上
粉じん量の月平均
12,300個/m3 10,900個/m3
※換気回数とは、一定時間内に室内の空気がどれだけ入れ替わるかを示す指標。
※粉じんとは、空気中に浮遊する微細な固体粒子。

 

モックアップでの実験結果

同じ換気回数(換気量)で従来方式(ダウンフロー方式)よりも5~49%粉じん量を削減できました。室内熱負荷が大きいほど削減率は高くなります。T-CAOSで従来方式と同じ粉じん量とする場合、換気量を約5~49%削減可能です。

T-CAOSのモックアップ実験結果

効果の大きい建物例

  • ISOクラス4~9の工業用クリーンルーム(旧Fed st209E クラス10~100,000)
  • 室内熱負荷(機器発熱等)300W/㎡以上の高発熱クリーンルーム
  • 排気が上向きの装置を設置
  • リニューアル(床下空間を確保できないクリーンルームなど)

 

 

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