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2006年06月

VOC(揮発性有機化合物)の省エネ型処理装置を開発し半導体工場に実装

VOC(揮発性有機化合物)の省エネ型処理装置を開発し半導体工場に実装

エアトロニック事業部は、生産工場から排出されるVOC(揮発性有機化合物)の省エネ型処理装置を開発し、半導体生産工場に実装した(竣工:2006年6月)。装置は生産ラインの排ガス風量や濃度変化にも対応可能なシステムで、自己燃焼方式と廃熱交換器の組み合わせた省エネルギーなシステムである。


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