精密電子部品用　新型ドライクリーナーの販売を推進
高性能・非接触　多段縮流ノズルで特許取得

　当社は、精密電子部品やフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）などの生産工程で製品に付着したダストを除去するドライクリーナーを数年前に開発・販売してまいりました。この2月に出願中の高速クリーンエアーを利用した新型非接触ドライクリーナーの特許を取得いたしました。これを契機に更なる販売を推進する所存です。

　当社は、液体洗浄方式の場合には避けられない薬液管理や洗浄後の乾燥プロセスが不要で、且つ設備投資金額と大幅な設置スペースの低減が可能となるなど多くのメリットを持つ、媒体が気体であるドライクリーナーに着目し数十年前より開発・販売してまいりました。
　1985年に１号機を開発し、基本特許を取得しています。現在までに国内外のメーカー様に2000台以上の納入実績を持ち様々な業種よりご好評を得ています。

　新型ドライクリーナーは、蒸着、露光、印刷、メッキ、検査などの主要プロセス装置の直前に設置し、特殊なノズルから吹出される高速なクリーンエアーを用いて、付着したダストを非接触で効率よく除去・吸引するシステムで、ダスト起因による製品の不良発生を低減し、生産ラインの歩留まり向上と資源の有効活用に貢献します。
　構成は、高速なエアーを発生する吹出・吸引用のブロワー、クリーンエアーを供給する為のプレフィルター・ＨＥＰＡフィルター、効果的にダストや異物を除去・吸引する特殊ノズルユニットからなります。

　このドライクリーナーは当社エアトロニック事業部が開発・製品化したもので、下記に示す他のクリーナーと差別化された特徴を持ちます。

　１．多段縮流の特殊設計マルチコントラノズルであること
　２．基板対応巾が4400㎜と大きいこと
　３．両面同時クリーニングが可能なこと
　４．オールフレッシュエアーブロー方式により温度上昇が小さいこと
　５．除塵率は対象ダスト粒径3ミクロンのガラスビーズで99.5％以上
　６．ラインスピード600㎜/Sの運用が可能

　多段縮流ノズル（マルチコントラノズル）は気流系統中の圧力損失を極限まで低減し高速エアーを作り出すノズルです。
　流体解析技術により設計されたノズルは、空気の流れる抵抗を極限まで低減しつつ、安定した流れになるポイントを追及し複数段組み合わせながら縮流することで、ブロワーの待つパワーを無駄なく対象物表面に伝え、ダスト・異物の除去に効果的に作用し小型・省エネで除去効率の高いクリーナーを実現しています。
　一般的にエアーノズルからの噴流は、距離とともに減衰しますが開発した多段縮流ノズル
は従来品（当社比）の約２倍の到達距離を持ち、対象物のそりや凸凹部における除去性能の
低下がなく、3ミクロンサイズのダスト除去効率99.5％を確保する事が可能です。
同時に拡散の少ない気流は、クリーニングスピードの向上にも威力を発揮し工程時間の短縮による効率化が図れます。
　ＦＰＤ業界で一般的に使用されているラインスピード200ｍｍ/Sに対し多段縮ノズルを用
いた場合、同様の除去効率を維持したまま600ｍｍ/Sでの運用が可能となります。

　2005年の特許出願と同時に新型クリーナーの販売を開始、安定した性能は国内最大ガラスサイズ4,400ｍｍに対応した大型装置の納入や海外物件への納入実績を誇ります。

　現在、各産業におけるメーカー間の価格競争は非常に厳しいものとなっており、生産コストの削減や製造プロセス中における歩留まりの改善は重要な課題になっています。その一方で製品の高品質化、高付加価値化は着実に進められており、加工の精密化、多様化も益々進んでいます。

　当社は、ユーザーニーズを的確に捉えるための事前検証設備をエアトロニック事業部に常備し、今後も多様化する製造プロセスに応じた高性能ドライクリーニングシステムを提供して参ります。
また当社の精密温度制御技術を生かした加熱・冷却システムと組み合わせ省エネルギー、低炭素化への取組を続けて参ります。

問い合わせ先
エアトロニック事業部